Facilities
MICRONOVA has industrial scale fabrication facilities, comprising 2600 m2 of cleanroom space with processing lines for the fabrication of micro- and nanodevices. VTT’s facilities include silicon BiCMOS, MEMS and thin film lines.
Micro and Nanofabricaton Centre (MINFAB) takes care of TKK's facilities at Micronova.
More information:
Tilat ja laitteet
Micronovassa on Pohjoismaiden suurimmat puhdastilat, joita on yhteensä 2 600 m2. Puhdastilat on rakennettu kahdessa eri vaiheessa. Vanhempi osa, jossa on 1 100 m2 on ainoastaan VTT:n käytössä, kun taas uudempi osa, joka valmistui vuonna 2002, on VTT:n ja TKK:n yhteiskäytössä. Lisäksi uudella puolella on tiloja myös asiakasyrityksille.
Micronovan resurssit ovat myös yritysten ja ulkopuolisten tutkimusryhmien käytettävissä.
Lisätietoja Micronovassa sijaitsevista tiloista ja laitteista löytyy englannin kielisiltä www-sivuilta.